세메스, 반도체 매엽식 세정장비 양산 판매 2500호기 달성

세메스 초임계 세정장비 퓨어시스(PURESYS)의 이미지./세메스 제공

반도체 장비업체인 세메스는 반도체 매엽식 세정장비 양산 판매 대수가 국내 최초로 2500호기를 달성했다고 1일 밝혔다.

세메스에 따르면, 2006년 7월 첫 양산 개발 이래 지금까지 누적 매출도 7조원을 넘어선 것으로 집계됐다.

매엽식 세정은 반도체 웨이퍼의 회로 선폭이 점점 미세해지면서 웨이퍼 표면에 남아있는 파티클(오염물질)을 제거하기 위해 반도체 웨이퍼를 한장씩 개별적으로 세정하는 방식이다.

이들 설비는 다양한 소재와 신기술을 적용해 세정 성능을 기존 대비 90% 이상 크게 향상시켰으며, 웨이퍼의 오염 상태에 따라 세정 방식을 조절할 수 있도록 제작됐다고 회사 측은 설명했다.

전병수 기자(outstanding@chosunbiz.com)

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