저스템, AI 기반 반도체 습도 제어 기술 개발

저스템 용인 사옥 전경. (사진=저스템)

저스템은 반도체 습도 제어 장비인 'JFS'에 인공지능(AI) 기술을 적용한 'AI 파워-JFS(AIP-JFS)'를 개발했다고 11일 밝혔다.

회사는 AIP JFS가 첨단 AI 기반 정밀제어시스템을 활용해 반도체 생산 라인의 습도 제어 기능을 최적화하고, 기류 흐름을 분석해 안전성을 극대화할 수 있다고 설명했다.

AI를 기반으로 데이터 분석 시간을 단축, 습도 제어 최적화 시간도 기존 대비 60% 이상 줄여 생산성 개선이 가능하다고 전했다.

웨이퍼 운송 용기인 '풉(FOUP)' 내부 습도가 올라가면 불순물이 달라붙을 수 있어 반도체 수율 저하 원인이 된다. 저스템은 습도를 제어하는 장비 제조사인데, AI를 활용해 기술을 고도화했다.

우인근 저스템 연구소 이사는 “한 차원 높은 기술력으로 글로벌 반도체 기업에 JFS를 공급하겠다”고 말했다.

이호길 기자 eagles@etnews.com

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