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세메스, 반도체 세정기술 국가핵심기술 판정

조선비즈 전병수 기자
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세메스 반도체 매엽식 습식 세정장비 로터스./세메스 제공

세메스 반도체 매엽식 습식 세정장비 로터스./세메스 제공



반도체 장비업체 세메스는 산업통상자원부가 주관하고 산업기술보호협회가 심사 운영하는 국가핵심기술에 자사의 반도체 세정공정 기술이 판정됐다고 8일 밝혔다.

국가핵심기술은 기술적·경제적 가치가 높아 해외 유출 시 국가에 중대한 피해를 줄 우려가 있는 산업기술로 국내외 유출방지 및 보호를 위해 지난 2007년 도입됐다.

세메스의 반도체 세정 공정기술은 30나노 이하급 D램, 파운드리(반도체 위탁생산)를 비롯해 64단 이상의 적층 3D 낸드플래시에 해당되는 설계·공정·소자 기술 및 3차원 적층 형성 기술이다.

세메스는 협력사와의 기술보호 규정을 강화하고 기술자료에 대한 접속을 제한하는 등 보안 점검 및 인프라 구축에도 나서고 있다.

심상필 대표는“산업기술 보호 및 육성에 대한 중요성이 날로 커지고 있는 만큼 앞으로도 핵심 공정기술을 보호하고, 정부의 다양한 지원 혜택도 받을 수 있는 국가첨단전략기술 신청을 통해 최고 수준의 기술 보유 기업으로 거듭나겠다”고 밝혔다.

전병수 기자(outstanding@chosunbiz.com)

<저작권자 ⓒ ChosunBiz.com, 무단전재 및 재배포 금지>

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