㈜디어스이앤씨 4월 준공 약속 지켜
이달 시운전 마치고, 본격 가동 예정
세계적 반도체 장비기업인 네덜란드 ASM이 화성 반도체 장비공장을 준공한 국내 한 중견 건설사에 감사를 표시한 사실이 뒤늦게 알려졌다.
25일 화성시 등에 따르면 ㈜디어스이앤씨는 2023년 9월 화성시 영천동 7,400㎡에 지하 2층 지상 6층, 연면적 3만1,500㎡ 규모의 ASMK(ASM코리아) 화성 제2공장을 착공한 뒤 지난 4월 30일 준공해 현재 시운전 중이다. 이 공장은 이달 30일 시운전을 마치고 본격 가동 준비에 들어간다.
ASMK는 ASM 시설 중 전 세계 유일하게 연구개발 기능과 제조시설이 결합된 시설이다. 앞으로 국내 반도체기업과 협업해 플라스마원자층증착(PEALD) 장비를 생산할 예정이다. 증착은 웨이퍼 위에 원하는 분자 또는 원자 단위의 얇은 박막을 입히는 반도체 핵심 정밀 공정 중 하나다.
이달 시운전 마치고, 본격 가동 예정
(주)디어스이앤씨가 경기 화성시 동탄에 건설한 반도체 장비기업 ASMK의 화성2공장 전경. 회사 제공 |
세계적 반도체 장비기업인 네덜란드 ASM이 화성 반도체 장비공장을 준공한 국내 한 중견 건설사에 감사를 표시한 사실이 뒤늦게 알려졌다.
25일 화성시 등에 따르면 ㈜디어스이앤씨는 2023년 9월 화성시 영천동 7,400㎡에 지하 2층 지상 6층, 연면적 3만1,500㎡ 규모의 ASMK(ASM코리아) 화성 제2공장을 착공한 뒤 지난 4월 30일 준공해 현재 시운전 중이다. 이 공장은 이달 30일 시운전을 마치고 본격 가동 준비에 들어간다.
ASMK는 ASM 시설 중 전 세계 유일하게 연구개발 기능과 제조시설이 결합된 시설이다. 앞으로 국내 반도체기업과 협업해 플라스마원자층증착(PEALD) 장비를 생산할 예정이다. 증착은 웨이퍼 위에 원하는 분자 또는 원자 단위의 얇은 박막을 입히는 반도체 핵심 정밀 공정 중 하나다.
ASM은 ㈜디어스이앤씨가 설계·조달·시공(EPC) 일괄 턴키 프로젝트임에도 계약 기한 내 준공한 점을 높이 평가한 것으로 전해졌다. 국내 건설사들은 반도체 공장 건설을 접할 기회가 적은 데다 EPC 프로젝트의 경우 사업주의 요구에 따라 설계가 수시로 바뀌기 때문에 건설 공정이 늦어지는 경우가 많았다. ASM 글로벌 본사에서도 현장을 방문할 때마다 ㈜디어스이앤씨에 기한 내 준공이 가능한지 자주 우려를 표시한 것으로 전해졌다. 하지만 기한 내 준공이 이뤄지자 ASM의 실무진 및 고위 관계자로부터 “수십 년간 전 세계 ASM 공장 가운데 기한 내 준공된 곳은 이곳이 처음"이라며 "깊이 감사드린다”고 사의를 표했다고 회사 측은 전했다.
ASMK 화성2공장에 반영된 하이테크 디자인 및 친환경 시설. 회사 제공 |
ASM은 또 공장으로서 획기적인 디자인과 미국 그린빌딩위원회(USGC) 인증 골드등급의 친환경 건축에도 감사를 표했다고 회사 측은 전했다.
한편 화성시 정명근 시장은 ASMK의 본격 가동을 앞두고 20일 주요 반도체 기업들과 함께 간담회를 진행하고, 사업장을 방문해 관계자들을 격려했다.
이범구 기자 ebk@hankookilbo.com




























































