티씨케이, 디에스테크노와 SiC 포커스링 특허 소송 2심도 승소

티씨케이가 2019년부터 3년간 디에스테크노와 벌여온 특허 무효 소송과 심판에서 승소했다.

티씨케이가 2019년부터 3년간 디에스테크노와 벌여온 특허 무효 소송과 심판에서 승소했다. 사진은 안성본사 전경

티씨케이에 따르면 특허법원은 지난 13일 디에스티크노가 제기한 항소심에서 티씨케이의 SiC 포커스링 발명 특허성을 인정했다. 그보다 앞선 12일 특허심판원 역시 디에스테크노가 제기한 무효심판에서 별개의 티씨케이 SiC 포커스링 특허를 인정했다.

티씨케이는 반도체 식각 공정용 실리콘카바이드(SiC) 링 제조업체다. 티씨케이는 화학기상증착(CVD) 장비 내 여러 개의 노즐에서 SiC 원료가스를 순차적으로 분사하는 방식을 업계 최초로 개발했다. 내구성을 향상하면서 효율적인 공정을 구현할 수 있다. 관련 국내 시장에서 압도적인 점유율을 기록하고 있다.

티씨케이는 2019년 경쟁사인 디에스테크노가 유사한 제조방식으로 SiC 포커스링 사업에 진출하려 하자 특허침해소송을 제기했다. 지난해 특허법원은 1심에서 티씨케이 특허 기술 고유성을 인정했다. 이에 디에스테크노는 항소와 동시에 특허심판원에 제조방법에 대한 무효심판을 제기했다. 특허법원과 특허심판원은 이번에도 티씨케이의 손을 들어줬다.

티씨케이는 이번 승소로 인해 법원으로부터 고유 기술력을 인정받게 됐다. 티씨케이는 이번 판결을 토대로 다른 회사의 특허 침해에 대해서도 법적 조치를 통해 대응할 방침이다.

티씨케이 관계자는 “특허를 침해하는 등 부정한 방법으로 제품을 제조·판매하는 회사에 대해서는 정당한 권리 보호를 위한 법적 조치를 취해 나갈 것”이라고 밝혔다.

송윤섭기자 sys@etnews.com

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