"반도체 초순수 국산화 협의체 본격 가동…日수출규제 대응"

서울 서초구 삼성딜라이트 전시관에 반도체 웨이퍼가 전시돼 있다.뉴시스

[파이낸셜뉴스] 일본 수출규제에 대응한 반도체 초순수 국산화 협의체가 본격 가동된다. 국산 기술개발과 실증화가 완료되면 국내시장은 물론, 관련 물산업의 해외시장 진출까지 확대될 것으로 기대된다.

환경부는 26일 한국환경산업기술원, 한국물포럼과 함께 과천시 한국수자원공사 한강유역본부에서 반도체 초순수 국산화를 위한 협의체 첫 회의를 개최한다고 밝혔다.

‘반도체 초순수 생산공정 국산화 기술개발’은 일본 정부의 반도체 분야 수출규제 대응을 위해 환경부에서 지원하는 상용화 연구개발 사업이다. 5개 과제에 총 480억원을 투입, 초순수 생산공정 국산화를 통해 해외 기술 의존을 벗어나고 국내 산업을 활성화하기 위해 추진되고 있다.

구체적으로 △핵심기자재 개발(유기물 자외선 산화장치, 용존산소 제거 탈기막) 56억원 △2,400톤/일 규모 실증플랜트 구축 337억원 △초순수 인증평가 및 검증체계 마련 25억원 △반도체 폐수 재이용률 향상 46억원 등이다.

이번 회의에서는 환경산업기술원, 기술수요처, 수자원공사의 산업계 기술개발지원, 실증설비(플랜트) 구축 방안, 국산화 및 활성화 방안 소개와 산·학·연·관 등 관계자들의 심층토론이 진행된다.

연구개발사업을 관리하는 환경산업기술원은 2019년 9월 이후 일본의 반도체 분야 수출규제에 대응하기 위해 초순수 생산공정 국산화 기술개발사업 이행안(로드맵)과 과제별 지원계획을 제시한다.

최근 실증설비(플랜트) 부지 제공이 결정된 업체는 기술 수요처로서 실증설비 구축을 위해 부지 및 건축물 제공사항과 기술 국산화 이후 실제 플랜트에 적용할 계획을 비롯해 정부 및 관계기관에 대한 협조 요청사항을 전달할 예정이다.

초순수 시장(설계, 시공, 운영) 규모는 2018년 기준 국내 시장 약 1조원, 세계시장은 19.3조원이며, 2024년에는 각각 1.4조원, 23.1조 원 규모까지 성장할 것으로 예상된다.

송용권 환경부 물산업협력과장은 "반도체 초순수 기술개발을 통해 해외 기술·제품에 대한 의존을 벗어남과 동시에 관련 물산업 해외시장 진출의 교두보를 마련할 계획"이라며 "반도체 초순수 생산기술 국산화 및 상용화의 성공을 위해 연구개발 수행기관, 관련 산업계 등과 지속적으로 긴밀한 협의를 이어 나갈 것"이라고 말했다.