질량분석장비 핵심요소 국산화 성공

KBSI, 기체 클러스터 이온빔 장치 개발·성능 인증 완료…사업화 진행

비스듬한 구조물인 기체클러스터 이온빔에서 쏘아진 이온빔이 하단의 OLED 시료를 가공하며 이차 이온을 생성한다. 기초과학지원연구원 제공

[파이낸셜뉴스] 한국기초과학지원연구원(KBSI)은 전량 수입해온 '이차이온 질량분석기'의 핵심요소인 기체 클러스터 이온빔 장치를 국내 최초로 개발했다고 16일 밝혔다. 공식 성능 테스트를 통해 분당 5나노미터(nm:10억분의 1m) 수준의 시료 표면가공정밀도(스퍼터율)을 달성해 '3차원 분자 영상 질량분석기' 개발에 한 걸음 더 다가섰다.

KBSI 연구장비개발부 최명철 책임연구원은 "반도체 분석, 소재개발, 환경 분석 등 다양하게 활용되는 연구장비인 만큼 국산화가 꼭 필요하다고 생각해 연구를 시작하게 됐다"고 밝혔다.

3차원 분자 영상 질량분석기는 이차이온 질량분석기의 일종으로, 유기발광다이오드(OLED), 미세플라스틱 등 유기물질과 생체시료의 3차원 화학 영상 분석을 목적으로 하고 있다. 연구계·산업계를 막론하고 국내에서 활용되는 모든 질량분석기는 전량 독일, 영국 등에서 수입하는 실정이다.

최명철 박사 연구팀이 개발한 기체 클러스터 이온 빔 장치는 이온 빔을 시료에 쏴 이차 이온을 일정하게 생성시키는 역할을 한다. 이렇게 생성된 이차이온의 질량을 분석해 시료의 화학적 조성을 유추하는 것이 '이차이온 질량분석기'의 원리이다.

한국생산기술연구원 연구원들이 기초과학지원연구원에서 개발한 기체클러스터 이온빔 장치를 공식 검증 진행을 하고 있다. 기초과학지원연구원 제공

이번에 개발된 기체 클러스터 이온 빔 장치는 지난 8일 한국생산기술연구원 입회하에 진행된 OLED 시료 가공 테스트 결과 분당 5나노미터의 표면가공정밀도를 기록했다. 이는 현재 국내외에서 사용되는 외산 최첨단 이차이온 질량분석장비의 클러스터 이온빔과 유사한 수준의 수치이다. 이온 빔의 표면가공정밀도는 표면 질량분석장비의 성능을 평가하는 핵심지표로서 분석의 정확도(공간 분해능)와 직결된다.

연구팀은 외산 연구장비의 국산화에 그치지 않고, 관련 기술을 고도화하여 기존 질량분석장비들의 한계를 뛰어넘는 세계 최고 수준의 질량분석장비를 완성할 계획이다. 또한, 이온빔 장비에 대한 원천기술과, 수행 중인 '3차원 분자 영상 질량분석기'의 사업화도 병행해 기업의 빠른 시장 진출도 도울 계획이다.

KBSI 최창민 선임연구원은 "기체 클러스터 이온빔 기술은 질량분석장비만이 아니라, 광전자분광기 등 여타 표면분석장비와 표면 가공 산업분야에도 폭넓게 활용될 수 있는 원천기술로써 다양한 형태로 사업화가 가능하다"고 밝혔다.

KBSI의 연구소기업인 '와이엔디케이'가 공동 연구에 참여해 사업화 시기를 최대한 앞당길 수 있을 것으로 기대된다.

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monarch@fnnews.com 김만기 기자

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