미국 정부가 지분 가진 인텔, 美 제재 받은 中 반도체 장비 시험 의혹

미국 반도체 제조사 인텔이 올해 중국과 긴밀히 연계된 업체의 반도체 제조 장비를 테스트했다고 로이터통신이 12일(현지 시간) 보도했다.

사안에 정통한 소식통 2명에 따르면 인텔은 미국 캘리포니아주 프리몬트에 본사를 둔 반도체 장비 제조사 ACM 리서치(이하 ACM)로부터 장비를 공급받았다. ACM의 중국 상하이 및 한국 소재 지사는 미국 기술을 공급받지 못하도록 지난해 미국 정부의 제재 대상에 오른 바 있다. 중국 정부가 상업용 기술을 군사 용도로 활용하고, 첨단 반도체와 관련 제조 장비를 개발하는 데 ACM이 기여했다는 이유에서다. ACM 측은 이런 의혹을 부인한다. 인텔이 시험한 장비는 반도체 제조 과정에서 실리콘 웨이퍼의 물질을 제거할 때 쓰이는 이른바 '습식 식각' 장비 2대다.

인텔은 2027년 초 양산을 목표로 개발하는 차세대 반도체 제조 공정인 14A 공정에 이 장비를 적용할 가능성을 시험한 것으로 알려졌다.

ACM은 "개별 고객과의 구체적 거래에 대해 언급할 수 없다"면서도 "자사 미국 팀이 아시아 사업부에서 생산한 다수의 장비를 미국 내 고객에게 판매 및 인도했다"는 입장을 로이터에 밝혔다. 아울러 "미국에 본사를 둔 주요 반도체 제조업체에 장비 3대를 출하했으며, 현재 시험 중이고 일부 장비는 성능 기준을 충족했다"고 덧붙였다.

그러나 미국 정부가 지분을 보유한 인텔이 제재 대상 자회사를 둔 업체의 장비를 첨단 공정에 도입하는 방안을 검토한 점을 두고 미국에서는 국가안보상 우려가 제기되고 있다고 로이터는 전했다. 이 같은 우려에 ACM은 "자사는 국가안보를 위협하지 않으며, 미국 내 사업은 제재 대상인 상하이 사업부와 분리되고 고립된 구조로 운영된다"며 "미국 고객의 영업 비밀을 보호하기 위한 강력한 안전장치를 갖췄다"고 강조했다.

조양준 기자 mryesandno@sedaily.com
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